SYNULAS
Substratschonende Präzisionsbearbeitung in Low- κ-Mehrschichtsystemen durch synergetische Nutzung von UV-Nanosekundenund NIR-Femtosekunden-Laserpulsen
Forschungsgebiet:
- Laufzeit:
- 01.11.2025 - 31.10.2027
- Projektstatus:
- laufend
- Einrichtungen:
- Fakultät für angewandte Naturwissenschaften und Mechatronik
- Projektleitung:
- Prof. Dr. Heinz P. Huber
- Förderprogramm:
- DFG Sachbeihilfen
- Drittmittelart:
- DFG
- Projektart:
- Forschung
Projektförderung
