Alumna der Mikro- und Nanotechnik für Promotion ausgezeichnet

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Marianne Unterreitmeier hat an der Fakultät für angewandte Naturwissenschaften und Mechatronik der HM den Masterstudiengang Mikro- und Nanontechnik absolviert. Für ihre anschließende Dissertation entwickelte sie eine völlig neuen Methode, mit der sich die Funktionsfähigkeit von Wafers testen lässt. Als Wafers werden in der Mikroelektronik, Photovoltaik und Mikrosystemtechnik kreisrunde oder quadratische, etwa ein Millimeter dicke Siliziumscheiben bezeichnet. Sie dienen als Grundplatte für elektronische Bauelemente.

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Testen mit Schallemissionen

Die Promovendin hat in ihrer Arbeit Schallemissionen genutzt, die z.B. Risse in Echtzeit und mit höherer Genauigkeit detektieren als optische Inspektionsmethoden. Ihr Testverfahren ist deutlich weniger zeit- und kostenaufwendig sowie wesentlich genauer und zuverlässiger. Sie verbindet damit in ihrer Dissertation wissenschaftliche Tiefe mit dem Fokus auf die praktische Anwendung in der Halbleiterindustrie, für welche die von ihr gewonnenen Erkenntnisse von grundsätzlicher Bedeutung sind.

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Motivation für wissenschaftliche Karriere

Der Regensburger Preis für Frauen in Wissenschaft und Kunst wird alle zwei Jahre verliehen. Das Preisgeld beträgt in der Regel 15.000 Euro. Unterreitmeier motiviert das Preisgeld, ihre wissenschaftliche Karriere weiter zu verfolgen.

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Promoviert hat Marianne Unterreitmeier am Lehrstuhl für Technische Elektronik, Technische Fakultät der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg in Kooperation mit der Fakultät Elektro- und Informationstechnik an der OTH Regensburg. Die Arbeit wurde bei Infineon Technologies in München durchgeführt.

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Kathrin Resch / Mirja Fürst